Reinraum (clean room)
Raum, in dem Staubkonzentration in der Luft, Temperatur, Feuchtigkeit und Druck streng kontrolliert werden, um eine hohe Reinheit zu gewährleisten. Da bei der Herstellung elektrischer Geräte und Bauteile (Halbleiter) die Verunreinigung durch Fremdstoffe bestimmte ppm-Werte nicht überschreiten darf, muss die Produktion in einem Reinraum stattfinden. Die US-Norm FED-STD-209E (ersetzt durch ISO 14644-1) definiert die Reinraumbedingungen wie folgt:
Reinraumklasse |
Höchstmenge an Staubpartikeln über 0,5 µm in Teilchen je ft3 (je l) |
Höchstmenge an Staubpartikeln über 5 µm in Teilchen je ft3 (je l) |
100 |
100 (3,5) |
|
10.000 |
10.000 (350) |
65 (2,3) |
100.000 |
100.000 (3.500) |
700 (25) |
Reinraumklasse nach
ISO 14644-1 |
Höchstmenge an Staubpartikeln bis 0,5 µm in Teilchen je m3 |
Höchstmenge an Staubpartikeln bis 5 µm in Teilchen je m3 |
100 – ISO5 |
3520 |
29 |
10.000 – ISO 7 |
352000 |
2930 |
100.000 – ISO 8 |
3520000 |
29300 |
|