Reinigungsschwamm (wiping spon...  Zum Index Rekristallisation (recrystalli ...  

    Reinraum (clean room)

    Raum, in dem Staubkonzentration in der Luft, Temperatur, Feuchtigkeit und Druck streng kontrolliert werden, um eine hohe Reinheit zu gewährleisten. Da bei der Herstellung elektrischer Geräte und Bauteile (Halbleiter) die Verunreinigung durch Fremdstoffe bestimmte ppm-Werte nicht überschreiten darf, muss die Produktion in einem Reinraum stattfinden. Die US-Norm FED-STD-209E (ersetzt durch ISO 14644-1) definiert die Reinraumbedingungen wie folgt:

    Reinraumklasse Höchstmenge an Staubpartikeln über 0,5 µm in Teilchen je ft3 (je l) Höchstmenge an Staubpartikeln über 5 µm in Teilchen je ft3 (je l)
    100 100 (3,5)  
    10.000 10.000 (350) 65 (2,3)
    100.000 100.000 (3.500) 700 (25)
    Reinraumklasse nach

     

    ISO 14644-1
    Höchstmenge an Staubpartikeln bis 0,5 µm in Teilchen je m3 Höchstmenge an Staubpartikeln bis 5 µm in Teilchen je m3
    100 – ISO5 3520 29
    10.000 – ISO 7 352000 2930
    100.000 – ISO 8 3520000 29300